产品描述
1、载物台微调XY行程：300x300mm （可定制）
2、载物台微调XY行程：300x300mm （可定制）
3、载物台双面镂空，夹具最大支持300mm*300mm的器件夹持
4、载物台theta，微调±7.5°(三丰微分头)
5、背置式直筒显微镜，zoom为0.58-4.5x，ccd像素为200w （可定制）
6、显微镜移动模块，移动精度为127TPI。
7、第一层Platen最多可支持四个射频，第二层Platen最多支持四个射频
8、platen可独立分开，platen的水平移动范围为300mm，platen上的针座吸附平台可移动500m
9、双面针座平台